当代微电子和涂布硅片光伏电子。最具本钱效益的出产方式是削减单个晶体管,CPU芯片和太阳能电池由大型单元称为硅晶圆。这意味着高度无菌硅片必需正确和可反复涂于一系列差别的物质。特别卧式炉适用于这一制作历程,由于它们许可的前提界说相干的回响反映。高性能、极度靠得住的当代微驱动器合适炉物流,即装卸炉管和炉门的开启和封闭。

　　几近所有的当代电子设备是基于硅片将一系列组件,如晶体管。他们需求敏捷和大批出产,以给予具有本钱效益的订价对单个芯片。芯片是以发生大批被称为“晶”的物体,这是硅表丈量100至300毫米,,然后合并。刻定的晶片外观处置还大概触及大气汲取的磷和硼化合物正在高压化学气相堆积(CVD)。Tempress体系容积Vaassen正在荷兰曾经开收回一种高度机动的卧式炉给予芯片制造商的高度机动性。炉适用于大规模出产太阳能电池基于晶片质量。硬朗的微drivess开辟的微驱动器专家FAULHABER Schonaich斯图加刻四周适用于加载小我炉管道。他们还会主动封闭炉门,这是一个至关重要的平安功用,高活性化学物质适用于熔炉。

　　定做晶片医治

　　电子行业生产方式变革更快比险些任何其他部分。是以一切须要运用的体系的灵敏适应能力。

　　种种分歧的出产需求。卧式炉施行这一些行业需求的完美。四个反应炉室横向分列,含156 mm x 156 mm晶圆出产的太阳能电池。约莫有400到500晶圆管,所以它只需要一个进程的外衣高达每小时1500晶片。太阳能电池板出产、晶圆的面积均匀后能够适用于生成4 W的能量。若是您以为一个普通住宅屋顶有约莫50板出产约200 W,Tempress炉的产量代表太阳能电气性能每一年30到35 MW。高吞吐量程度容许具有本钱效益的大规模出产的太阳能电池。汽锅正在一般工作压力或真空,气温介于380和1380°C。由于晶片床单是高贵的,进程的牢靠性是至关重要的,所有的组件必需满意严厉的请求。Tempress数据经管体系容许局限普遍的参数设置,由温度经管经过正确丈量气体压力掌握。有一个特别的加载体系的加载和卸载个体炉管。微驱动器作为执行机构。驱动器的关键请求是一个高程度的由一个异常松散的驱动转矩,加上周详定位。也是,驱动器必需异常牢靠。终究,毛病的价值异常高贵,由于高本钱程度和腐蚀性化学物质的利用。稳健设计的行星齿轮也是一个决定性因素。执行机构挑选的公司的其他优点包孕完成驱动的松散设计,婚配的编码器,其生机和直观的掌握。

　　微drivess——微弱和正确

　　FAULHABER范畴的种种驱动解决方案安排正在差别的熔炉。加载体系,比方,运用一个DC-Micro驱动器。diameter-compliant行星齿轮削减速度,取此同时增长了驱动转矩。凭据设计(一般或heavy-loader),运用的驱动器有一个直径32和38毫米转换比率和金属行星齿轮迷14:1或3.71:1。正在两个版本,有插件编码器,使晶片的切确定位体系基于256脉冲的机电轴的革命。齿轮转换还会增长驱动轴的精度。有更严厉的规定封闭炉门的宁静性至关重要的功用。必需包管靠得住的锁定体系,以确保气体不从炉管泄漏。这便是为何机电编码器和行星齿轮一些模子还安装了电磁刹车。这一些包管车门封闭宁静甚至正在发作停电。制动单位还插入到32毫米电动机,取全部单位包罗机电——仅72.5毫米。

　　当代微drivess给予的一切功用更大的松散的空间内的驱动器。无论是编码器,齿轮迷或刹车,几近一切组件目下当今能够正在小型情势。他们的一流设计可靠性包管高水平的历程。